新闻详情
新闻搜索
显微镜分类，特点及基本应用--------------------------------------------------
|
名称 |
检测信号 |
样品 |
分辨率/nm |
基本应用 |
|
透射电子显微镜（TEM） |
透射电子和衍射电 子 |
薄膜和复型膜 |
点分辨率0.3~0.5,晶格分辨率0.1~0.2 |
1形貌分析：显微组织、晶体缺陷 2晶体结构分 析； 3成分分析（配附件） |
|
扫描电子显微镜（SEM） |
二次电子、背散射 电子、吸收电子 |
固体 |
6~10 |
1形貌分析：显微组织、断口形貌；2成分分析（配附件）； 3结构分析 （配附件）； 4断裂过程动态研究 |
|
扫描隧道显微镜（STM） |
隧道电流 |
固体（有一定导电性） |
原子级 垂直0.01， 横向0.1 |
1表面形貌与结构：表面原子三维轮廓； 2表面力学行 为、表面物理化学研究 |
|
原子力显微镜 （AFM） |
隧道电流 |
固体（导体、半导体、绝缘体） |
原子级 |
1表面形貌与结构分析； 2表面原子间力与表面力学性质的测定 |
|
场发射显微镜 （FEM） |
场发射电子 |
针尖状（电极） |
2 |
1晶面结构分 析； 2晶面吸附、脱附和扩散等分析 |
|
场离子显微镜 （FIM） |
正离子 |
针尖状（电极） |
当尖半径为100nm时 室温0.55 低温0.15 |
1形貌分析：直接观察原子组态；2表面重构、扩散等分析 |
